導(dǎo)電膜雙電測電四探針電阻測試儀
發(fā)布時間： 2024-04-29 16:28:39 點擊： 4443
適用范圍Widely used：
硅晶塊、晶片電阻率及擴散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻 半導(dǎo)體材料/晶圓、太陽能電池、電子元器件，導(dǎo)電薄膜（ITO導(dǎo)電膜玻璃等），金屬膜，導(dǎo)電漆膜，蒸發(fā)鋁膜，PCB銅箔膜，
EMI涂層等物質(zhì)的薄層電阻與電阻率 導(dǎo)電性油漆，導(dǎo)電性糊狀物，導(dǎo)電性塑料，導(dǎo)電性橡膠，導(dǎo)電性薄膜，金屬薄膜，
抗靜電材料， EMI 防護材料，導(dǎo)電性纖維，導(dǎo)電性陶瓷等
導(dǎo)電膜雙電測電四探針測試儀
功能描述Description：
1. 四探針組合雙電測量方法
2. 液晶顯示，自動測量，自動量程，自動系數(shù)補償.
3. 集成電路系統(tǒng)、恒流輸出.
4. 選配：PC軟件進行數(shù)據(jù)管理和處理.
5. 提供中文或英文兩種語言操作界面選擇
導(dǎo)電膜雙電測電四探針測試儀
參照標準：
1.硅片電阻率測量的標準（ASTM F84）.
2.GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》.
3.GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》.
4.GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》.
導(dǎo)電膜雙電測電四探針測試儀雙電組合測試方法：
利用電流探針、電壓探針的變換，進行兩次電測量，對數(shù)據(jù)進行雙電測分析，解決樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響，適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。
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規(guī)格型號/ model |
FT-341 |
FT-342 |
FT-343 |
FT-345 |
FT-346 |
FT-347 |
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1.方塊電阻sheet resistance |
10-5～2×105Ω/□ |
10-4～2×105Ω/□ |
10-3～2×105Ω/□ |
10-3～2×104Ω /□ |
10-2～2×105Ω/□ |
10-2～2×104Ω/□ |
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2.電阻率Resistivity |
10-6～2×106Ω-cm |
10-5～2×106Ω-cm |
10-4～2×106Ω-cm |
10-4～2×105Ω-cm |
10-3～2×106Ω-cm |
10-3～2×106Ω-cm |
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3.測試電流Test current |
0.1μA.μA.0μA，100μA，1mA，10mA，100mA |
1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100mA |
0.1μA.μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100 mA |
1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100mA |
0.1μA、1μA、10μA，100μA，1mA，10mA，100mA |
1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100mA |
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4.電流精度Current |
±0.1% accuracy |
±0.2% accuracy |
±0.2% accuracy |
±0.3% accuracy |
±0.3% accuracy |
±0.3% accuracy |
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5.電阻精度Resistance |
≤0.3% accuracy |
≤0.3% accuracy |
≤0.3% accuracy |
≤0.5% accuracy |
≤0.5% accuracy |
≤0.5% accuracy |
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6.顯示讀數(shù)display |
屏液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率Large screen LCD: Resistance. resistivity. sheet resistance. temperature. unit conversion.temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness. conductivity |
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7.測試方式 |
test mode雙電測量Double electrical measurement |
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8.電源Power |
輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<30W |
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9.誤差errors |
≤3%（標準樣片結(jié)果） |
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10.選購功能choose to buy |
選購1.pc軟件； 選購2.方形探頭； 選購3.直線形探頭； 選購4.測試平臺；5.標準電阻.1.pc software; 2. square probe; 3. linear probe; 4. test platform |
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11.測試探頭test probe |
探針間距選購：1mm；2mm；3mm三種規(guī)格; 探針材質(zhì)選購：碳化鎢針;白鋼針；鍍金磷銅半球形針Optional probe spacing: 1mm；2mm；3mm in three sizes.Select probe material: tungsten carbide needle. white steel needle. gilded copper hemispherical needles. |
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