半導(dǎo)體材料四探針電阻率測(cè)試儀詳情
發(fā)布時(shí)間： 2023-09-20 21:53:36 點(diǎn)擊： 468
半導(dǎo)體材料四探針電阻率測(cè)試儀詳情
半導(dǎo)體材料四探針電阻率測(cè)試儀詳情介紹
半導(dǎo)體材料四探針電阻率測(cè)試儀是一種用于測(cè)量半導(dǎo)體材料電阻率的儀器。四探針電阻率測(cè)試儀采用四探針?lè)?，這是一種廣泛采用的標(biāo)準(zhǔn)方法，具有設(shè)備簡(jiǎn)單、操作方便、精確度高、對(duì)樣品的形狀無(wú)嚴(yán)格要求等優(yōu)點(diǎn)。四根探針的針尖在同一直線(xiàn)上，并且間距相等，一般采用0.5mm的間距。不同的探針間距需要對(duì)測(cè)量結(jié)果做相應(yīng)的校正。
半導(dǎo)體材料的電阻率是反映其導(dǎo)電性能的重要參數(shù)之一。測(cè)量電阻率的方法很多，四探針?lè)ㄊ且环N常用的方法。四探針電阻率測(cè)試儀適用于片狀、棒狀等半導(dǎo)體材料的測(cè)量，如半導(dǎo)體器件廠(chǎng)和材料廠(chǎng)。
四探針電阻率測(cè)試儀的技術(shù)指標(biāo)包括：
方塊電阻范圍：10-5～2×105Ω/□
電阻率范圍：10-6～2×106Ω-cm
電導(dǎo)率范圍：5×10-6～106s/cm
測(cè)試電流范圍：0.1μA～100mA
電流精度：±0.1%讀數(shù)
顯示讀數(shù)：電阻、電阻率、方阻、電導(dǎo)率、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度、電導(dǎo)率、壓強(qiáng)等。
四探針電阻率測(cè)試儀采用四探針?lè)ㄟM(jìn)行測(cè)量，需要使用探頭。探頭用于測(cè)量樣品的電阻率，通常由四根探針組成，呈直線(xiàn)排列，間距為0.5mm。不同探針間距的探頭需要針對(duì)不同的樣品進(jìn)行校正。探頭一般由鎢或鉑制成，具有高導(dǎo)電性和耐腐蝕性。探頭的形狀和尺寸也會(huì)影響測(cè)量結(jié)果，因此需要選擇合適的探頭。常見(jiàn)的探頭形狀有圓形和平面形等。在測(cè)量過(guò)程中，探頭將電流施加到樣品上，并測(cè)量樣品兩端的電壓差，從而計(jì)算出樣品的電阻率。
選擇四探針電阻測(cè)試儀時(shí)需要考慮以下因素：
測(cè)試范圍：根據(jù)被測(cè)樣品的方塊電阻范圍選擇合適的測(cè)試范圍。
精度：選擇具有較高測(cè)量精度和穩(wěn)定性的測(cè)試儀。
附加功能：選擇具有附加功能的測(cè)試儀，如計(jì)算機(jī)控制、自動(dòng)測(cè)試、數(shù)據(jù)處理和分析等。
測(cè)試速度：選擇具有較快測(cè)試速度的測(cè)試儀，可以提高工作效率。
探頭類(lèi)型：根據(jù)被測(cè)樣品類(lèi)型選擇合適的探頭類(lèi)型，如單電測(cè)、雙電測(cè)、手動(dòng)/電動(dòng)等。
儀器品牌和價(jià)格：選擇知名品牌和價(jià)格合理的測(cè)試儀。
綜上所述，選擇四探針測(cè)試儀時(shí)需要根據(jù)實(shí)際需求和預(yù)算進(jìn)行綜合考慮，選擇適合自己的測(cè)試儀。
