四探針電阻率/方阻測試儀的分類介紹
發(fā)布時(shí)間： 2022-08-04 15:02:32 點(diǎn)擊： 1168
四探針電阻率/方阻測試儀的分類介紹
在半導(dǎo)體等新型應(yīng)用材料行業(yè)中，四探針測試儀是不陌生的，幾乎是必備檢測手段，比如硅片晶圓，二代，三代芯片應(yīng)用的半導(dǎo)體材料；半導(dǎo)體材料是個統(tǒng)稱，還有其他類型的根據(jù)不同的應(yīng)用場景不同而備制方式也不同，比如：涂層類，薄膜類及導(dǎo)體與絕緣材料的添加備制等新材料都屬于半導(dǎo)體性質(zhì)，這些材料質(zhì)量的檢測都離不開四探針方法的四探針測試儀來測量.
一.四探針測量方法分類
四探針電阻率/方阻測試儀一般來說所有的四探針測試儀方法都不一定相同，不同方法對測量準(zhǔn)確性及精度影響比較大的，常見的有單一計(jì)算方法和組合計(jì)算測量方法；組合方法更加優(yōu)在準(zhǔn)確性和重復(fù)性.特別是應(yīng)用于高要求的晶圓類產(chǎn)品的測量時(shí)突出表現(xiàn).
二.四探針測試儀自動化程度來分類
四探針電阻率/方阻測試儀大體分類為，全自動類型和半自動類型；全自動類型成本高，精度和穩(wěn)定性要求也高，如全自動四探針測試儀一般采用MAP地圖圖譜方式來描述整體樣品均勻性及方阻和電阻率數(shù)據(jù)，也就是應(yīng)用2D和3D 圖.
而半自動類設(shè)備，里面也分類為簡易的數(shù)據(jù)顯示結(jié)果，和半人工配合操控的類型數(shù)據(jù)量更加豐富些，
三.四探針電阻率/方阻測試儀按照便捷性劃分為手持式和臺式機(jī)型，比如需隨身攜帶的手持四探針測試儀就是便捷用途；
四.在依據(jù)不同的測試條件下也可以做劃分：比如常溫下使用的，及高溫四探針測試等
